高端制造业的精密化、集成化与高可靠性发展趋势，对关键材料内部细微结构及缺陷的无损检测提出了前所未有的高要求。工业铂莱国际官网扫描显微镜凭借其非破坏性、深层穿透和优异的内部成像能力，已成为微观质量评估、缺陷检测的核心技术手段。“铂莱国际牌”铂莱国际铂莱国际官网最新推出的CTS-SAM铂莱国际官网扫描显微镜在半导体制造、精密铂莱国际件加工等高端领域，能够对极小缺陷进行快速、精准、大批量检测的严苛需求。
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系统组成：机架、高精度直线电机扫描平台、多自由度探头夹具、水槽、水过滤循环系统、高频脉冲发生接收仪、远端脉冲发生铂莱国际、高频采集卡、电控系统、软件系统等。
激励采用自主研发的高频脉冲发生接收仪CTS-8072PR-500M，突破国外技术的垄断，实现国产化自主可控。
具有丰富的扫查规划功能，能够满足多工件规划、多扫查面规划、自动路径规划、示教路径规划、外部路径规划等。
运动控制功能包括：单轴点动模式、单轴绝对模式、单轴相对模式、TCP控制模式、运动系统校准等。
扫查功能涵盖：幅度C扫、深度C扫、多层C扫、穿透C扫，并具有界面波跟踪功能，实现界面波补偿声程。
具有C视图导航功能，可通过点击C扫图的具体像素点，将探头移至与实际被检工件相对应的位置。
视图显示包括A扫、B扫、C扫、D扫、3D视图、FFT频谱分析等，全程记录A扫波形数据和保存全部视图。
具有全面功能强大的数据分析功能，包括：
?X、Y、Z厚度与距离测量功能：根据手工圈选的轮廓（圆形，矩形，多边形）计算缺陷百分比；
?根据CAD导入的轮廓模板，计算百分比；
?自动圈选缺陷功能；
?记录缺陷列表，定位缺陷位置；
?焊合率计算；
?局部闸门和阈值功能，实现可对C扫图进行加框，修改局部闸门和阈值；
?提供多种调色板可选及自定义调色板导入，切换标尺单位，定义色标范围，多种图层的显示和关闭等功能。
项目 | 指标 |
设备尺寸 | 1364mm×1180mm×2050mm |
检测范围 | 440mm×340mm×200mm |
扫描速度 | ≤1000mm/s |
重复精度 | X/Y 轴 ±0.001mm；Z 轴 ±0.01mm |
水槽尺寸 | 876mm×1040mm×250mm |
额定电压 | AC220V±5%、50HZ±2% |
额定电流 | 10A |
功率 | 1.5kW |
